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濺射鍍膜機的鍍膜工藝主要受影響的幾個參數介紹

發布日期:2022-12-07

濺射鍍膜機 真空鍍膜設備鍍膜工藝主要受哪幾個參數影響呢? 

磁控鍍膜機里面的工藝參數有很多很多,每個參數對磁控濺射系統來說都是非常重要的因素,因為一個參數未達標,都沒辦法完成所需要達到的要求,下面給大家介紹真空鍍膜設備幾個常見比較重要參數,希望能幫助到大家:

一.濺射閾值:

       將靶材原子濺射出來所需的入射離子小能量值。與入射離子的種類關系不大、與靶材有關。在能離子量超過濺射閾值后,隨著離子能量的增加,在150ev以前,濺射產額和離子能量的平方成正比;在150ev~1kev范圍內,濺射產額和離子能量成正比;在1kev~10kev范圍內,濺射產額變化不顯著;能量再增加,濺射產額卻顯示出下降的趨勢。以下是幾種金屬用不同入射離子轟擊的濺射閾值。

真空鍍膜機

二.濺射產額:

       入射離子轟擊靶材時,平均每個正離子能從靶材打出的原子數。影響因素主要有以下幾方面:

       1.濺射產額隨靶材原子序數的變化表現出某種周期性,隨靶材原子d殼層電子填滿程度的增加,濺射產額變大(大致的變化趨勢)。

       2.入射離子種類對濺射產額的影響,濺射產額隨入射原子序數增加而周期性增加。相應于45Kev的各種入射離子,銀、銅、鉭的濺射產額

       3.離子入射角度對濺射產額的影響,對相同的靶材和入射離子,濺射產額隨離子入射角增大而增大,當角度增大到70?~80 ?時,濺射產額大。繼續增大入射角,濺射產額急劇減小,90?時濺射產額為零。

       4.靶材溫度對濺射產額的影響,一般來說,在可以認為濺射產額同升華能密切相關的某一溫度范圍內,濺射產額幾乎不隨溫度的變化而變化。當溫度超過這一范圍時,濺射產額有急劇增加的傾向。


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